三甲基镓(Trimethylgallium)
CAS:1445-79-0
分子式(Molecularformula)Ga(CH3)3(TMGa)
纯度(purity)99.9999%
分子量(Formulaweight)114.825
熔点(meltingpoint)-15.8℃
沸点(boilingpoint)55.8℃
密度(density)@20℃1.151g/ml
状态(appearance)无色液体colourlessLiquid
三甲基镓是一种有机金属化合物,主要用于:镓外延片化学气相沉积。即在一个材料表面通过气相沉积工艺(MOCVD),生长一种特殊物质(例如砷化镓等)。三甲基镓是生产LED外延片、制备GaAs,AsGaAl等半导体化合物的必备化学原料。